Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Бібліографічні деталі
Автор: Arnold, Heinrich (Автор)
Формат: Книга
Мова:German
Опубліковано: Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Зміст/частини:1 записів
Опис
Фізичний опис:X,158 Seiten : graphische Darstellungen
Шифр:[mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden]