Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Автор: | |
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| Формат: | Книга |
| Мова: | German |
| Опубліковано: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Зміст/частини: | 1 записів |
| Фізичний опис: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Шифр: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |