Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | German |
| Được phát hành: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Nội dung/Bộ phận: | 1 số dòng |
| Mô tả vật lý: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
|---|---|
| Số hiệu: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |