Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | German |
| 出版事項: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| 内容注記: | 1レコード |
| 物理的記述: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
|---|---|
| 請求記号: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |