Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | German |
| Pubblicazione: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Contenuto/pezzi: | 1 record |
| Descrizione fisica: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Collocazione: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |