Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | German |
| Հրապարակվել է: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Բովանդակություն / հատվածներ: | 1 գրառումներ |
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
|---|---|
| Դասիչ: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |