Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| מחבר ראשי: | |
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| פורמט: | ספר |
| שפה: | German |
| יצא לאור: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
| תיאור פיזי: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| סימן המיקום: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |