Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Autor Principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | German |
| Publicado: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Contido/pezas: | Rexistros 1 |
| Descrición Física: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Número de Clasificación: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |