Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Príomhchruthaitheoir: | |
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| Formáid: | LEABHAR |
| Teanga: | German |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Ábhair/píosaí: | 1 taifead |
| Cur síos fisiciúil: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Gairmuimhir: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |