Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Egile nagusia: | |
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| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | German |
| Argitaratua: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Edukiak/piezak: | 1 erregistroak |
| Deskribapen fisikoa: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Sailkapena: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |