Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Autor principal: | |
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| Format: | Llibre |
| Idioma: | German |
| Publicat: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Continguts/components: | 1 registres |
| Descripció física: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |