Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| المؤلف الرئيسي: | |
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| التنسيق: | كتاب |
| اللغة: | German |
| منشور في: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| المحتويات/الأجزاء: | 1 تسجيلات |
| وصف مادي: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| رقم الطلب: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |