Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | German |
| प्रकाशित: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| अंतर्वस्तु / टुकड़े: | 1 अभिलेख |
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| 100 | 1 | |a Arnold, Heinrich |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Chemische Dampfablagerung |b CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik |
| 264 | 1 | |a Berlin : |b Akademie-Verlag, |c 1982 | |
| 300 | |a X,158 Seiten : graphische Darstellungen | ||
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