Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Glavni avtor: | |
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| Format: | Knjiga |
| Jezik: | German |
| Izdano: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
| Fizični opis: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |