Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Hlavní autor: | |
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| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Obsah/části: | 1 záznamů |
| Fyzický popis: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |