Halbleitertechnologie Band01 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung

Bibliographische Detailangaben
VerfasserIn: Schade, Klaus (VerfasserIn)
Weitere Personen: Paul, Reinhold (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Berlin : Verlag Technik, 1981
Ausgabe:1. Auflage
Schriftenreihe:Halbleitertechnologie
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