Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Huvudupphovsman: | |
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| Materialtyp: | Bok |
| Språk: | German |
| Publicerad: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Innehåll/delar: | 1 poster |
| Fysisk beskrivning: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Signum: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |