Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| 1. autor: | |
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| Format: | Książka |
| Język: | German |
| Wydane: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Zapisy: | 1 zapisów |
| Opis fizyczny: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Sygnatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |