Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Hoofdauteur: | |
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| Formaat: | Boek |
| Taal: | German |
| Gepubliceerd in: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Inhoud/stuks: | 1 records |
| Fysieke beschrijving: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Plaatsingsnummer: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |