Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | German |
| Έκδοση: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Περιεχόμενα / Τμήματα: | 1 εγγραφές |
| Φυσική περιγραφή: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
|---|---|
| Ταξιθετικός Αριθμός: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |