Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Hovedforfatter: | |
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| Format: | Bog |
| Sprog: | German |
| Udgivet: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
| Fysisk beskrivelse: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Klassifikationsnummer: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |